BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪

BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪

日期：2010-07-15 | | 【大中小】

生产厂家：北京光电技术研究所

购置日期：2007年

原　　值：15万元

主要指标：曲率范围：≥5m　单片测量时间：≤3分钟/片

　　　　测试精度：±5% (在R＝±8mm处考核)

用　　途：薄膜应力分布测量，基片面形、曲率半径测试

样品要求：尺寸：≤100mm，基片：Si、Ga、GaAs

联系电话：0931-4968300

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