生产厂家：美国KLA-Tencor公司购置时间：2016年原 值：85万元主要指标：垂直方向分辨率0.1nm，XY自动样品台移动范围152×152mm，Z自动样品台移动范围127mm用 途：用于分析材料表面的形貌特征、粗糙度及磨损体积样品要求：各种块体、薄膜样品联系电话：0931-4968165
