生产厂家：美国科特莱思科购置时间：2015年原 值：103万元主要指标：本底真空小于5×10-5 Torr；载气系统：N2或者Ar；沉积非均匀性：＜1%用 途：用于光学薄膜、电学薄膜、太阳能光电光热薄膜、摩擦学薄膜、界面力学薄膜材料的制备样品要求：基片尺寸50-200mm联系电话：0931-4968117
