微波表面波等离子体沉积设备

日期：2010-08-03 | | 【大中小】

生产厂家：沈阳科仪
购置日期：2009年
原　　值：56万元
主要指标：等离子体密度：10¹⁰-10¹¹
　　　　电子温度：1-5ev
　　　　极限真空：2×10^-5Pa
用　　途：沉积非晶质碳膜、金刚石薄膜
样品要求：高纯Ar、He、CH₄、C₂H₂、H₂等
联系电话：0931-4968191

地址　Add：中国兰州天水中路18号　邮编　P.C.：730000E-Mail:webeditor@licp.cas.cn 　陇ICP备05000312号甘公网安备62010202000731号